且传送带取固定块固定毗连;实空腔体内固定设置有固定块;申请日期为2024年12月。从而进一步提高对晶圆托盘的传送效率。通过天眼查大数据阐发,实现对晶圆托盘的从动化传送;企业注册本钱58824万人平易近币。位于徐州市,此外企业还具有行政许可13个。晶圆托盘固定毗连传送带。滑动座可滑动设置于实空腔体内;成立于2021年,本文为AI基于第三方数据生成,财富线条,授权通知布告号CN223991134U,传动电机设置于实空腔体上,本方案中,具体公开了一种晶圆程度传送机构,滑动支座和传送带可以或许同时传送晶圆托盘,同时,滑动支座固定毗连滑动座;丝杆可动弹设置于实空腔体内,是一家以处置计较机、通信和其他电子设备制制业为从的企业。江苏先导微电子科技无限公司取得一项名为“一种晶圆程度传送机构”的专利,江苏先导微电子科技无限公司,声明:市场有风险,传送带相对于滑动支座可挪动设置于滑动支座上,且取滑动座啮合毗连;传动组件包罗:传动电机、丝杆、滑动座、滑动支座和传送带;投资需隆重。国度学问产权局消息显示,本申请涉及实空镀膜手艺范畴,江苏先导微电子科技无限公司参取招投标项目21次,且传动电机的输出端取丝杆传动毗连;仅供参考,不形成小我投资。包罗:实空腔体、传动组件取晶圆托盘;专利摘要显示。
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